“許振鳴是外行人,能知道這臺(tái)光刻機(jī)的技術(shù)原理么?”
“錦上添花沒有雪中送炭來得劃算,我還是等到最后再亮出底牌才好?!?br/>
猶豫半天,梁宋松還是忍住了,沒把自己的判斷和設(shè)想說出來。他轉(zhuǎn)過臉去,開始安排自己小組的實(shí)驗(yàn)流程工序。
這時(shí)。
郝寧教授的小組成員已經(jīng)進(jìn)入狀態(tài),把激光能量測(cè)試儀、激光光譜分析儀、激光頭焦距測(cè)試儀等各種儀器調(diào)試好,隨時(shí)可以進(jìn)入測(cè)試狀態(tài)。
見郝寧教授小組的準(zhǔn)備工作已經(jīng)就緒,梁宋松伸手捋了捋頭上油光澤亮的頭發(fā),表情嚴(yán)肅的下令:“郝教授,咱們開始試驗(yàn),第一步是測(cè)試激光能量的衰減率?!?br/>
“開始試驗(yàn)!把能量測(cè)試儀調(diào)整到自動(dòng)調(diào)節(jié)運(yùn)行狀態(tài),每一個(gè)0.001毫米的高度測(cè)試一組數(shù)據(jù)?!焙聦帓吡艘谎哿核嗡桑S后就進(jìn)入工作狀態(tài)。
激光光路系統(tǒng)的能量測(cè)試難度非常大,空間高度每相差0.001毫米,激光在空氣中消耗的能量就會(huì)衰減一個(gè)數(shù)據(jù)級(jí)。而激光能量的最終值會(huì)影響到激光曝光的強(qiáng)度,影響到芯片光刻物理線路圖的精度。
梁宋松之所以把這個(gè)測(cè)試項(xiàng)目放在第一步,也正是因?yàn)槿绱?。但他此時(shí)卻不慌不忙,好像已經(jīng)知道測(cè)試以后的數(shù)據(jù)一般。
“第一個(gè)節(jié)點(diǎn)數(shù)據(jù)正常,激光能量衰減度低于0.009的數(shù)據(jù)級(jí)?!?br/>
“第二個(gè)節(jié)點(diǎn)數(shù)據(jù)也正常,能量衰減度低于0.0095的數(shù)據(jù)級(jí)?!?br/>
“第三個(gè)節(jié)點(diǎn)數(shù)據(jù)更漂亮……”
隨著激光能量測(cè)試靶子的不斷下降,工作站監(jiān)視器上的數(shù)據(jù)在不斷跳動(dòng)著。郝寧等人看著數(shù)據(jù),嘴里也不自覺的說出測(cè)試數(shù)據(jù)的結(jié)果。
這些數(shù)據(jù)都在規(guī)定范圍之內(nèi),表明這套米國(guó)佬生產(chǎn)的激光光路系統(tǒng)質(zhì)量非常穩(wěn)定。
“老米的產(chǎn)品質(zhì)量的確非常好?!?br/>
“誰說不是呢。體積小功率大,噪音也小,功耗還非常低。要是我們生產(chǎn)的激光光路系統(tǒng)能達(dá)到這種標(biāo)準(zhǔn)就好了?!?br/>
“我們的激光發(fā)生器做不到這一點(diǎn)。機(jī)械加工精度不如人家、光學(xué)儀器加工精度不如人家、光學(xué)材料的質(zhì)量不如人家。我們拿什么來人家比?”
胡磊和李峰兩個(gè)老頭子,一邊關(guān)注著監(jiān)視器,一邊無奈的搖著頭。他們?cè)谫潎@這臺(tái)激光光路系統(tǒng)的同時(shí),又有點(diǎn)無可奈何。
作為華夏國(guó)培養(yǎng)出來的第一代光學(xué)工程專家,他倆要比大多數(shù)華夏工程更具有集團(tuán)榮譽(yù)感。在他們青春年少的時(shí)代,華夏國(guó)就連最普通的軍用望遠(yuǎn)鏡都要從東德和捷克進(jìn)口。
正是因?yàn)樗麄冞@代人的努力,華夏國(guó)的普通光學(xué)儀器,都已經(jīng)能自足自給了。這也算是一項(xiàng)了不起的創(chuàng)舉。
在光學(xué)產(chǎn)品這方面,德國(guó)人蔡司公司一直都是領(lǐng)頭羊,從來都沒有被超越過。
蔡司公司有專門的光學(xué)研究大學(xué)、研究所,累計(jì)投入的研究資源無法估計(jì),一般的國(guó)家憑啥能隨意超過它?除非像白熊國(guó)和米國(guó)一樣,以戰(zhàn)勝者的身份踏入德國(guó),拿走現(xiàn)成的研究資料。
想到這么多,胡磊的心里要平衡許多。他收回目光,看向真正忙碌的年輕助手們。
“好在我們集團(tuán)公司注意梯隊(duì)建設(shè),這些小年輕就是我們國(guó)家光學(xué)儀器科學(xué)的未來。”胡磊的心情好了許多,嘴角泛起一絲微笑。
“郝總,第一遍測(cè)試已經(jīng)完成,現(xiàn)在要重新做一遍測(cè)試嗎?”就在這時(shí),負(fù)責(zé)操控激光能量測(cè)試儀的技術(shù)員轉(zhuǎn)過頭來詢問郝寧教授。
這遍測(cè)試要消耗掩膜片、光刻試劑、中間調(diào)節(jié)試劑、激光靶子面的光學(xué)鏡片等耗材,費(fèi)用頗多。再做一遍測(cè)試的費(fèi)用也不會(huì)少一分,技術(shù)員小張當(dāng)然要征求郝寧教授的意見。
郝寧想都沒想,隨口就道:“當(dāng)然要測(cè)試,我們的團(tuán)隊(duì)做事一定要謹(jǐn)慎。像這種例行測(cè)試,最好要做三遍才能取信實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)。”
說完這些,他猛然想起這次實(shí)驗(yàn)是由梁宋松主導(dǎo),自己不能亂下結(jié)論。于是,他回過頭來看向梁宋松。
從內(nèi)心深處來說,梁宋松比較相信米國(guó)人的產(chǎn)品質(zhì)量。他此時(shí)胸有成竹的一笑,“英特爾公司的質(zhì)檢程序比我們要嚴(yán)格,他們公司轉(zhuǎn)讓過來的產(chǎn)品一定沒問題。我認(rèn)為沒有必要再做試驗(yàn)了。”
說話間,他笑嘻嘻的看向半蹲在地上的萬寧古和許振鳴。、
“萬總,我們組檢測(cè)的數(shù)據(jù)已經(jīng)出來,這套激光光路系統(tǒng)的輸出功率非常穩(wěn)定,在空氣中的衰減率完全達(dá)標(biāo)。我的意見是可以結(jié)束這項(xiàng)測(cè)試,進(jìn)行下一項(xiàng)的測(cè)試工作?!?br/>
“是啊,老米的產(chǎn)品就是好,小巧、精密、輸出功率大而且穩(wěn)定。”
“我們的激光光路系統(tǒng)若是能做到這一步就好嘍?!?br/>
在梁宋松匯報(bào)完工作以后,胡磊和李峰兩位老專家感慨萬分的附和著。
而這時(shí)。
郝寧教授卻持有不同意見,“胡老、李老,我們當(dāng)前的工作重心不是研發(fā)新一代激光光路系統(tǒng),而是研發(fā)這種微米的激光能量測(cè)試儀。沒有這種精密測(cè)試儀器,我們?cè)偻暮舐凡缓米甙??!?br/>
“哎……是這個(gè)道理?!?br/>
“微米級(jí)光學(xué)能量測(cè)試儀涉及到精密機(jī)械、精密控制、精密傳感、尖端特殊材料等方方面面,難度不小啊郝總?!?br/>
胡磊和李峰被郝寧教授帶動(dòng)了思路,轉(zhuǎn)而又關(guān)注到自己本職工作方面的困難。而這個(gè)困難,正是當(dāng)下的華夏研究人員們共同面對(duì)的難題。
華夏國(guó)方方面面的技術(shù)儲(chǔ)備都薄弱,匯總到一起就更加薄弱。要搞這種系統(tǒng)方面的工程,難度可想而知。
梁宋松來到一鳴集團(tuán)公司有很長(zhǎng)時(shí)間,對(duì)華夏國(guó)技術(shù)儲(chǔ)備的狀況非常了解。他根本就不看好國(guó)內(nèi)有人能搞出尖端的光學(xué)能量測(cè)試儀。
“嗯…”
因此,梁宋松不以為然的一笑,鼻音很濃的那種笑。他雖然在刻意掩飾,卻還是沒能掩蓋住自己不屑情緒。
“即便再難,我們也要搞自己的一套光學(xué)測(cè)試儀器。否則,我們?cè)趺慈パ邪l(fā)第四代光刻機(jī),或者第五代光刻機(jī)?”
大概感覺到梁宋松的不屑之意,郝寧教授有些激動(dòng)的一揮手。隨后他看向許振鳴,認(rèn)為還要按照預(yù)定好的測(cè)試程序,對(duì)這臺(tái)激光光路系統(tǒng)再做兩遍測(cè)試。